一种单晶圆湿法处理设备集线装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种单晶圆湿法处理设备集线装置，一种单晶圆湿法处理设备集线装置，其特征是它包括底板，所述底板的上部设置有电路板和防护罩，并且电路板置于防护罩的内部；所述电路板上设有与信号线缆插头相连的信号线缆插座和与传感器线缆插头相连的传感器线缆插座；所述防护罩上设有至少一个开孔。该装置结构简单，使用方便，可以有效的对各种传感器的线缆进行简洁的集中和转换，并且利用透明防护罩和干燥氮气对线缆接头进行防护，避免腐蚀性气体和液体对其腐蚀。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单晶圆湿法处理设备集线装置，其特征是它包括底板（3）、电路板（5）和防护罩（4），所述电路板（5）和防护罩（4）设置在底板（3）的上部，并且电路板（5）置于防护罩（4）的内部；所述电路板（5）上设有与信号线缆插头（521）相连的信号线缆插座（52）和与传感器线缆插头（531）相连的传感器线缆插座（53）；所述防护罩（4）上设有信号线缆过线孔（41）、传感器线缆过线孔（42）、氮气进气孔（43）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋文超，陈平，王刚，张利军，何桂萱，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：