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本发明公开了一种单晶圆湿法处理设备集线装置，一种单晶圆湿法处理设备集线装置，其特征是它包括底板，所述底板的上部设置有电路板和防护罩，并且电路板置于防护罩的内部；所述电路板上设有与信号线缆插头相连的信号线缆插座和与传感器线缆插头相连的传感器线...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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