【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特征在于，含有:（A）使含有间甲酚、对甲酚以及2，5?二甲酚的酚类和醛类在酸催化剂的存在下于110℃～220℃的温度条件下反应而得到的邻位率为23%以上的高邻位酚醛清漆型酚醛树脂，（B）萘醌二叠氮化物衍生物，和（C）溶剂。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。