高压元件及其制造方法技术

技术编号:9296706 阅读:91 留言:0更新日期:2013-10-31 01:00
本发明专利技术提出一种高压元件及其制造方法,高压元件形成于第一导电型基板中,且另有一低压元件亦形成于同一基板中。该高压元件包含漂移区、栅极、源极与漏极、以及缓和区。其中,缓和区具有第二导电型,形成于漂移区中,且缓和区介于栅极与漏极之间。此外,缓和区与低压元件中的轻掺杂漏极(lightly?doped?drain?region,LDD)区,利用相同制程步骤所形成。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高压元件,形成于一第一导电型基板中,且另有一低压元件形成于该基板中,该基板具有一上表面,其特征在于,该高压元件包含:一漂移区,形成于该上表面下方,其具有第二导电型;一栅极,形成于该上表面上方,且至少部分该漂移区位于该栅极下方;一源极与一漏极,皆具有第二导电型,分别形成于栅极两侧的上表面下方,且该漏极位于该漂移区中,而该漏极与该栅极间,由该漂移区隔开;以及一缓和区,具有第二导电型,形成于该上表面下方的该漂移区中,且该缓和区介于该栅极与该漏极之间,且该缓和区与该低压元件中的一轻掺杂漏极区,利用相同制程步骤所形成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄宗义邱建维
申请(专利权)人:立锜科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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