薄片切割装置和方法以及芯片制造装置和方法制造方法及图纸

技术编号:9291284 阅读:172 留言:0更新日期:2013-10-30 21:18
提供了一种能够抑制晶片损坏的薄片切割装置。该薄片切割装置沿着附着部件(例如,半导体晶片)的外围,利用激光束来切割附着到附着部件的薄片。优选地,在薄片与附着部件之间的附着部分的边缘附近切割薄片。此外,优选地,附着部件是半导体晶片,由不对半导体晶片造成热影响的激光束来切割薄片。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄片切割装置,沿着附着部件的外围,利用激光束来切割附着到所述附着部件的薄片。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:多贺洋一郎西胁一雅千田昌男
申请(专利权)人:日本电气工程株式会社
类型:发明
国别省市:

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