【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种激光加工装置,使从激光照射部射出的激光光束的光束点,沿着载置于平台上的基板的分断预定线相对移动,借此加工该基板,其特征在于:在该平台的外侧,设置有使于基板分断时产生的端材往平台下方落下的间隙;在该平台的下方,设置有使通过该间隙的激光光束朝向包围平台的下方空间的侧壁反射的反射板。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:得永直,
申请(专利权)人:三星钻石工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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