【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种金属?氧化物?金属电容器结构，其特征在于，包括呈堆叠关系的多个金属层以及填充于金属层中的电介质；其中，每个金属层上形成有第一电极和第二电极，所述第一电极包含第一指状条和用于连接所有第一指状条的第一汇总条，所述第二电极包含第二指状条和用于连接所有第二指状条的第二汇总条，所述第二指状条与第一指状条交叉放置且最外侧的指状条为第二指状条；不同金属层的第一电极通过第一汇总条中的堆叠通孔连接，不同金属层的第二电极通过第二汇总条以及最外侧的第二指状条中的堆叠通孔连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：甘正浩，樊钰婷，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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