【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种鳍式场效应管的形成方法，其特征在于，包括：提供基底，所述基底包括第一区域、与所述第一区域相隔的第二区域、以及第一区域和第二区域之间的隔离区；形成贯穿所述第一区域的基底的第一鳍部，以及贯穿所述第二区域的基底的第二鳍部，所述第一鳍部的表面高于所述基底表面，所述第二鳍部的表面高于所述基底表面；形成横跨所述第一鳍部和第二鳍部的栅极结构；形成位于所述栅极结构两侧的第一外延层和第二外延层，所述第一外延层包裹暴露于基底表面的第一鳍部，所述第二外延层包裹暴露于基底表面的第二鳍部，所述第一外延层和第二外延层均具有第一应力类型；在形成第一外延层和第二外延层后，形成覆盖所述第二外延层、但暴露...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：三重野文健，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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