【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种离子注入方法，包括使用离子束冲击晶圆的步骤，所述晶圆由机械运动部件带动被所述离子束反复地全面扫描冲击，其特征在于，所述离子束电流为4～6.5毫安，所述晶圆被反复全面扫描冲击的次数根据所需注入的离子剂量和离子束电流大小确定。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李法涛，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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