【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种工业生产电子级硝酸的纯化系统，其特征在于，所述系统包括工业级硝酸储罐，所述工业级硝酸储罐通过气动隔膜泵与再沸器相连通，所述再沸器顶端与精馏填料塔底端相连接，所述精馏填料塔顶端与预冷装置一端相连接，所述预冷装置的另一端与脱气塔顶端相连接，所述脱气塔顶端设置有排气口，所述脱气塔底端与将二氧化氮气体吹出排气口的无油压缩机相连通，所述排气口通过废气管路与尾气冷凝塔相连通，所述脱气塔底端还与成品冷却装置相连接，所述成品冷却装置与电子级硝酸接收罐相连接，所述精馏填料塔和脱气塔内顶部设置有液体喷淋装置，所述尾气冷凝塔与废硝酸槽相连通，所述尾气冷凝塔与废硝酸槽之间设置有用于喷淋碱液的洗涤塔，所述再沸器底端也与所述废硝酸槽相连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：殷福华，朱永刚，朱龙，
申请(专利权)人：江阴江化微电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。