一种基于MEMS开关的温度保护器件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于MEMS开关的温度保护器件，包括Si衬底、设置在Si衬底上的信号线、微机械开关、压焊块和铂电阻，微机械开关由微机械开关触头、绝缘层和微机械开关V形梁依次连接构成，信号线在中间断开，微机械开关触头的一端正对信号线的断开处设置，另一端通过绝缘层与微机械开关V形梁的驱动端连接，微机械开关V形梁的两个锚区端分别与一个压焊块连接，一个压焊块接地，另一个通过铂电阻与电源连接。本实用新型专利技术通过预设电流设定温度保护值，利用铂电阻温度效应控制电流，使微机械开关V形梁发生热膨胀，引起微机械开关的位移，实现信号通断，达到温度保护目的；具有可调谐、灵敏度高、结构简单、可控性好、体积小等特点。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于MEMS开关的温度保护器件，其特征在于，该器件包括Si衬底（1）、设置在所述Si衬底（1）上的信号线（2）、微机械开关、压焊块（6）和铂电阻（7），所述微机械开关由微机械开关触头（3）、绝缘层（4）和微机械开关V形梁（5）依次连接构成，所述信号线（2）在中间断开，所述微机械开关触头（3）的一端正对信号线（2）的断开处设置，另一端通过绝缘层（4）与微机械开关V形梁（5）的驱动端连接，微机械开关V形梁（5）的两个锚区端分别与一个压焊块（6）连接，其中一个压焊块（6）接地，另一个压焊块（6）通过铂电阻（7）与电源连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：韩磊，董雪鹏，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：