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一种基于MEMS开关的温度保护器件制造技术
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下载一种基于MEMS开关的温度保护器件的技术资料
文档序号:9264316
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本实用新型公开了一种基于MEMS开关的温度保护器件,包括Si衬底、设置在Si衬底上的信号线、微机械开关、压焊块和铂电阻,微机械开关由微机械开关触头、绝缘层和微机械开关V形梁依次连接构成,信号线在中间断开,微机械开关触头的一端正对信号线的断开...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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