键合线退火机制造技术

技术编号:9245330 阅读:206 留言:0更新日期:2013-10-10 07:20
一种键合线退火机,由键合线、炉体、氢气进气管、冷却管、氮气进气管、导轮和收线轮等构成,其特征是在键合线退火设备中,缩减了原退火机炉体的长度,增加了氮气循环冷却装置。键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。该退火机能防止键合线退火后表面再次被氧化,消除键合线的加工硬化现象,提高键合线的质量。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种键合线退火机,其特征是缩减了原退火机炉体的长度,在键合线退火设备中,增加了氮气冷却装置,键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李勇田鹏
申请(专利权)人:滕州晨晖电子集团有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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