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键合线退火机制造技术
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下载键合线退火机的技术资料
文档序号:9245330
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一种键合线退火机,由键合线、炉体、氢气进气管、冷却管、氮气进气管、导轮和收线轮等构成,其特征是在键合线退火设备中,缩减了原退火机炉体的长度,增加了氮气循环冷却装置。键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。...
该专利属于滕州晨晖电子集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过滕州晨晖电子集团有限公司授权不得商用。
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