一种微型傅里叶变换光谱仪制造技术

本发明专利技术公开了一种微型傅里叶变换光谱仪，包括光源、干涉系统，所述干涉系统包括第一分光镜、动镜、固定镜，所述光源射出的光束照射到所述第一分光镜上，所述第一分光镜将光束分成两路，一路照射到动镜，一路照射到固定镜，经动镜与固定镜反射的两束光再反射到第一分光镜上，形成干涉光路，并产生干涉条纹，所述动镜为MEMS微镜，固定镜为MEMS微镜或平面镜，固定镜是MEMS微镜时通过产生位移并进行相位调制。本发明专利技术微型傅里叶变换光谱仪精度准确、体积小。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型傅里叶变换光谱仪，包括光源（1）、干涉系统，所述干涉系统包括第一分光镜（5）、动镜（7）、固定镜（6），所述光源（1）射出的光束照射到所述第一分光镜（5）上，所述第一分光镜（5）将光束分成两路，一路照射到动镜（7），一路照射到固定镜（6），经动镜（7）与固定镜（6）反射的两束光再反射到第一分光镜（5）上，形成干涉光路，并产生干涉条纹，其特征在于：所述动镜（7）为MEMS微镜，所述固定镜（6）为MEMS微镜或平面镜，所述固定镜（6）是MEMS微镜时通过产生位移进行相位调制。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王元光，谢会开，陈巧，兰树明，王东琳，周正伟，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：