楔形滤波片及其制备方法技术

本发明专利技术实现了厚度线性变化的楔形波导片加工，从而实现输出一定波段的谱面的效果，也实现了输出一定光谱范围内的连续光谱。将本发明专利技术实施例的新型楔形滤波片用于光谱仪作为分光元件，还可以制作超微型光谱仪。根据本发明专利技术的用于输出一定光谱范围内的连续光谱的楔形滤波片，其包括基片、均匀分布在所述基片上且厚度呈线性变化纵截面形状为楔形的楔形波导薄膜层、以及形成在所述波导薄膜层上的光栅，所以，本发明专利技术的楔形滤波片具有输出一定光谱范围内的连续光谱的作用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种楔形滤波片，具体涉及一种产生连续光谱的共振峰的形成有楔形波导薄膜的楔形滤波片及其制备方法。
技术介绍
导模共振滤光片在理论和实际运用上都具有重要的物理意义和研究价值，在光学生物传感器方面有着广泛的应用。一般的导模共振滤波片，是制作成等厚度的平面波导层，每一种厚度的波导层都有相对应的一个共振波峰；或者是当波导层达到一定厚度时，通过调制，会出现两个或两个以上的共振波峰，从而可以实现多通道的滤波片。尽管已经可以通过控制波导层厚度来得到共振波峰以及在波导层达到一定厚度情况下通过调制能够得到两个或两个以上的共振波峰，却还无法获得一定光谱范围内的连续光谱。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种可输出一定光谱范围内的连续光谱的楔形滤波片。本专利技术提供了一种楔形滤波片，用于输出一定光谱范围内的连续光谱，具有这样的特征，包括：基片；楔形波导薄膜层，均匀分布在基片上，厚度呈线性变化，纵截面形状为楔形；以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种楔形滤波片，用于输出一定光谱范围内的连续光谱，其特征在于，包括：基片，为光学玻璃；楔形波导薄膜层，均匀分布在所述基片上，厚度呈线性变化，纵截面形状为楔形；以及光栅，形成在所述波导薄膜层上。

【技术特征摘要】
1.一种楔形滤波片，用于输出一定光谱范围内的连续光谱，其特
征在于，包括：
基片，为光学玻璃；
楔形波导薄膜层，均匀分布在所述基片上，厚度呈线性变化，纵
截面形状为楔形；以及
光栅，形成在所述波导薄膜层上。
2.根据权利要求1所述的楔形滤波片，其特征在于：
其中，所述光学玻璃是石英玻璃片或K9玻璃片。
3.根据权利要求1所述的楔形滤波片，其特征在于：
其中，所述楔形波导薄膜层由高折射率介质层形成。
4.根据权利要求3所述的楔形滤波片，其特征在于：
其中，所述高折射率介质层是氧化钽或氧化钛。
5.根据权利要求1所述的楔形滤波片，其特征在于：
其中，所述光栅是由低折射率介质层形成。
6.根据权利要求5所述的楔形滤波片，其特征在于：
其中，所述低折射率介质层是光刻胶或二氧化硅。
7.根据权利要求1所述的楔形滤波片，其特征在于：
其中，所述光栅的间距300nm～2000nm。
8.一种楔形滤波...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛斌，周红艳，倪争技，黄元申，陈鹏，孙乐，董成成，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：上海;31