微型光谱仪制造技术

本发明专利技术公开一种微型光谱仪，包括输入部、影像撷取组件、微型绕射光栅以及波导装置。微型绕射光栅用以将光学信号分离为多个光谱分量，并使这些光谱分量射向影像撷取组件，其中光学信号于波导装置中传送。波导装置具有光栅容置槽，而光栅容置槽具有两相邻的侧壁，并位于输入部与影像撷取组件之间。光栅容置槽用以容置微型绕射光栅，其中微型绕射光栅沿着这些侧壁而抵住于波导装置。

【技术实现步骤摘要】
微型光谱仪
本专利技术是有关于一种光学装置，且特别是有关于一种微型光谱仪。
技术介绍
光谱仪是一种非破坏性的检测仪器，其例如可应用于辨认物质的成份组成与特性。于将光线打到物质上之后，利用光反射的原理，以及物质内组成结构对光不同频段的反射、吸收或穿透的差异，光谱仪接收从此物质反射的光线之后，会呈现对应的光谱。由于不同物质会显现个别特征的光谱，如此进而得以辨认物质的成份组成与特性。要达到如上的功效，光谱仪内部的各组件的位置配置必须很精确，如果任何组件有微小的平移、旋转或损坏，都会影响到光谱仪所能达成的效用。因此如何可以使光谱仪中各组件可以精密且快速地配置到正确的位置上，实为业界所致力的方向之一。
技术实现思路
本专利技术提供一种微型光谱仪，其光波导能固定光栅。所谓的微型光谱仪，是一种微小型的光谱仪，其中的光栅为一微型绕射光栅，该微型绕射光栅一般由微机电制程(MEMS)、半导体制程、光刻电铸模造(LithographieGaVanoformungAbformung，LIGA)或其他制程所制造出来，微型绕射光栅的光栅高度一般约有数十微米至数百微米，一方面因为微型绕射光栅厚度有限，一方面因为配合光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型光谱仪，包括：一输入部，用以接收一光学信号；一影像撷取组件；一微型绕射光栅，用以将该光学信号分离为多个光谱分量，并使该些光谱分量射向该影像撷取组件；一波导装置，该光学信号于该波导装置中传送，该波导装置具有一光栅容置槽，该光栅容置槽具有两相邻的侧壁，并位于该输入部与该影像撷取组件之间，用以容置该微型绕射光栅，其中该微型绕射光栅沿着该些侧壁而抵住于该波导装置。

【技术特征摘要】
1.一种微型光谱仪，包括：一输入部，用以接收一光学信号；一影像撷取组件；一微型绕射光栅，用以将该光学信号分离为多个光谱分量，并使该些光谱分量射向该影像撷取组件；一波导装置，该光学信号于该波导装置中传送，该波导装置具有一光栅容置槽，该光栅容置槽具有两相邻的侧壁，并位于该输入部与该影像撷取组件之间，用以容置该微型绕射光栅，其中该微型绕射光栅沿着该些侧壁而抵住于该波导装置，其中该波导装置包括一第一波导板与一第二波导板，该第二波导板具有一开口，该光栅容置槽由该开口与该第一波导板的上表面所定义，且该开口具有该些侧壁。2.如权利要求1所述的微型光谱仪，其特征在于，更包括一软垫，叠放于该微型绕射光栅之上，该微型绕射光栅与该软垫配置于该光栅容置槽中。3.如权利要求2所述的微型光谱仪，其特征在于，更包括一固定板，该固定板对该软垫施以一压缩的力量，使该微型绕射光栅固定于该光栅容置槽中。4.如权利要求1所述的微型光谱仪，其特征在于，该光栅容置槽具有一定位线，该定位线...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯正浩，
申请(专利权)人：台湾超微光学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71