【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基于SOI的狭缝光波导光栅FP腔光学生化传感芯片,包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体,其特征在于,所述基体的单晶硅层包含狭缝光波导,所述狭缝光波导的光信号传播路径上包含光栅FP腔,基体俯视方向为长方形,狭缝光波导包含一条狭缝,所述狭缝位于基体长度方向的中心轴线上,长度与基体所述中心轴线相等。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王卓然,袁国慧,高亮,王维,任培培,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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