【技术实现步骤摘要】
本技术属于传感器领域,具体涉及一种反射式FP腔光纤气压传感器。
技术介绍
压力测量在医药、汽车制造业和井下油气勘探等领域有着重要的应用。现有的气压传感器主要有电子气压传感器和光纤气压传感器。电子气压传感器作为传统的气压传感器,主要分为压阻式传感器和谐振式气压传感器两类。压阻式传感器是利用压力敏感元件受力时,电阻率发生变化,通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出,其具有体积小,灵敏度高的优点,但受温度影响大且制作工艺复杂,造价高。谐振式气压传感器是将谐振元件所受的压力值转换为频率信号的传感器。当外界气压发生变化时,振动元件的固有振动频率随之改变,通过相应的测量电路,就可得到与压力值成一定关系的电信号。谐振气压传感器具有精度高,结构紧凑等优点,但同样其加工工艺复杂,生产周期长,成本较高。光纤传感器是近年发展起来的新型传感器,与传统的传感器相比,光纤气压传感器具有独特的优势:温度稳定性好、抗电磁干扰和不会产生电火花等。因此,光纤传感器尤其适合在高温、易爆的环境下进行压力测试。各种结构和制造技术已被应用于制备不同类型的光纤气压传感器,包括基于边孔光纤结构的传感器,在单模光纤上刻写布拉格光纤光栅结构的传感器,高双折射微结构光纤传感器和基于光子晶体光纤的萨格纳克干涉仪传感器等。法布里-珀罗干涉仪由于其体积小、灵敏度高等优势在气压传感中扮演了重要的角色。许多不同结构的FP腔光纤气压传感器已经被报道,如段等人在两段单模光纤中间大面积错位熔接一小段单模光纤,形成了一种简易的FP腔气压传感器,但由于错位面积过大,使得传感头部分非常脆弱易断;马等人在单模光纤上熔接一节毛 ...
【技术保护点】
一种反射式FP腔光纤气压传感器,包括宽带光源、光纤环形器、光纤光谱仪和法布里‑珀罗干涉仪,其特征在于:所述的法布里‑珀罗干涉仪包括单模光纤,单模光纤一端端面为8°的倾角,且内部有一个圆形空气腔,空气腔上方有一个直径为2‑4um的小孔,使空气腔与外部连通;单模光纤的另一端与光纤环形器的一端连接,宽带光源、光纤光谱仪分别与光纤环形器的另外两端连接。
【技术特征摘要】
1.一种反射式FP腔光纤气压传感器,包括宽带光源、光纤环形器、光纤光谱仪和法布里-珀罗干涉仪,其特征在于:所述的法布里-珀罗干涉仪包括单模光纤,单模光纤一端端面为8°的倾角,...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘亚铭,徐贲,黄杰,
申请(专利权)人:中国计量学院,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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