一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型工艺，其首先将ZnO和Al2O3超微粉混合造粒后，加去离子水、分散剂、固化剂和表面活性剂进行混合制浆，注入模具内成型，经过干燥、脱蜡后，得到相对密度为65％-75％的高密度大尺寸的AZO靶材坯体。本发明专利技术所制备的AZO靶材成型密度高，组织均匀性好，易制备出大尺寸AZO靶材，且成型坯体均匀性好。其工艺操作简单，易于控制，适合工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型方法，其包括以下步骤：首先将ZnO和Al2O3超微粉混合造粒后，加去离子水、分散剂、固化剂和表面活性剂进行混合制浆，注入模具内成型，经过干燥、脱蜡后，得到相对密度为65％?75％的高密度大尺寸的AZO靶材坯体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：牟诗城，舒永春，韩凌云，曾学云，
申请(专利权)人：国家纳米技术与工程研究院，
类型：发明
国别省市：