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本发明公开了一种高致密度大尺寸AZO靶材坯体的成型工艺，其首先将ZnO和Al2O3超微粉混合造粒后，加去离子水、分散剂、固化剂和表面活性剂进行混合制浆，注入模具内成型，经过干燥、脱蜡后，得到相对密度为65％-75％的高密度大尺寸的AZO靶材...
该专利属于国家纳米技术与工程研究院所有，仅供学习研究参考，未经过国家纳米技术与工程研究院授权不得商用。

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