运送装置及真空装置制造方法及图纸

技术编号：9201738 阅读：121 留言：0更新日期：2013-09-26 05:23

一种在多个腔室彼此之间利用机器人手支撑基板并使其移动的运送装置，具备：第一检测机构，在所述机器人手的第一停止位置，在第一检测位置检测所述基板，该第一检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上；以及第二检测机构，在所述机器人手的第二停止位置，在第二检测位置检测所述基板，该第二检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井佳词，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人