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一种在多个腔室彼此之间利用机器人手支撑基板并使其移动的运送装置，具备：第一检测机构，在所述机器人手的第一停止位置，在第一检测位置检测所述基板，该第一检测位置设定在通过所述机器人手支撑的所述基板的一面上；以及第二检测机构，在所述机器人手的第二...
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