【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺，其特征在于包括：不带释放孔的圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，电磁驱动线圈，检测电极和公共电极，其中：所述圆盘振子通过所述圆柱形的支撑柱固定在基板上，且所述圆盘振子垂直于所述基板的z轴；所述电磁驱动线圈、所述检测电极和所述公共电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述公共电极分布于所述电磁驱动线圈与所述检测电极之间，并按照电磁驱动线圈、公共电极、检测电极、检测电极、公共电极、电磁驱动线圈的排列顺序，交叉循环分布。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，成宇翔，许仲兴，唐健，张弓，陈文元，汪濙海，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：
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