【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于外延沉积III?V材料的喷淋头，所述喷淋头包括一出气面，所述喷淋头用于向所述出气面下方的区域引入反应气体，其特征在于，所述喷淋头的出气面为光滑表面，所述出气面的表面粗糙度Ra≤0.1μm。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林翔，丁大鹏，
申请(专利权)人：光垒光电科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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