第13族氮化物晶体和第13族氮化物晶体基板制造技术

技术编号:9194438 阅读:157 留言:0更新日期:2013-09-25 23:26
本发明专利技术提供第13族氮化物晶体和第13族氮化物晶体基板。第13族氮化物晶体具有六方晶结构,其含有氮原子和选自B、Al、Ga、In和Tl的至少一种类型的金属原子。所述第13族氮化物晶体具有多个方向的基面位错。所述基面位错的位错密度高于c面的穿透位错的位错密度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
第13族氮化物晶体,其具有六方晶结构,且含有氮原子以及选自B、Al、Ga、In和Tl的至少一种类型的金属原子,所述第13族氮化物晶体包含:多个方向的基面位错,其中所述基面位错的位错密度高于c面的穿透位错的位错密度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:林昌弘皿山正二佐藤隆木村千春三好直哉村上明繁和田纯一
申请(专利权)人:株式会社理光
类型:发明
国别省市:

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