【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
第13族氮化物晶体,其具有六方晶结构,且含有氮原子以及选自B、Al、Ga、In和Tl的至少一种类型的金属原子,所述第13族氮化物晶体包含:多个方向的基面位错,其中所述基面位错的位错密度高于c面的穿透位错的位错密度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:林昌弘,皿山正二,佐藤隆,木村千春,三好直哉,村上明繁,和田纯一,
申请(专利权)人:株式会社理光,
类型:发明
国别省市:
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