一种磁传感器，包括第一屏蔽、第二屏蔽以及第一屏蔽和第二屏蔽之间的传感器叠层，传感器叠层具有多个层，其中至少一个层使用原位快速热退火被退火。在磁传感器的一种实现中，使用原位快速热退火来对籽晶层进行退火。替代地，使用原位快速热退火来对势垒层、AFM层和覆盖层中的一个进行退火。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造传感器叠层的方法，包括：使用原位快速热退火对所述传感器叠层的至少两个层进行退火。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：Q·何，丁元俊，M·W·科温顿，M·T·凯夫，陈永华，
申请(专利权)人：希捷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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