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文档序号:9171805
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一种磁传感器,包括第一屏蔽、第二屏蔽以及第一屏蔽和第二屏蔽之间的传感器叠层,传感器叠层具有多个层,其中至少一个层使用原位快速热退火被退火。在磁传感器的一种实现中,使用原位快速热退火来对籽晶层进行退火。替代地,使用原位快速热退火来对势垒层、A...
该专利属于希捷科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过希捷科技有限公司授权不得商用。
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