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压电致动装置制造方法及图纸

技术编号:9144687 阅读:136 留言:0更新日期:2013-09-12 06:03
一种压电致动装置包括承载体、至少一个压电单元、至少一个连动元件以及移动元件。压电单元设置于承载体,并包含至少一个压电蜂鸣片。连动元件与压电单元对应设置,连动元件的一端顶抵压电蜂鸣片。移动元件与连动元件连结。当压电蜂鸣片致动时带动连动元件移动,进而带动移动元件移动。本发明专利技术具有低成本的优点,又可达到次纳米级的致动分辨率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压电致动装置,包括:承载体;至少一个压电单元,设置于该承载体,并包含至少一个压电蜂鸣片;至少一个连动元件,与该压电单元对应设置,该连动元件的一端顶抵该压电蜂鸣片;以及移动元件,与该连动元件连结,其中,当该压电蜂鸣片致动时带动该连动元件移动,进而带动该移动元件移动。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡恩德黄英硕王伟珉
申请(专利权)人:中央研究院
类型:发明
国别省市:

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