滑动粘附型压电致动器制造技术

本发明专利技术提供了一种压电致动器。该压电致动器包括：固定主体；可移动主体，布置为面对固定主体；以及多个压电元件，布置在固定主体与可移动主体之间并以剪切模式操作，每个压电元件具有固定到固定主体的一端以及接触可移动主体的另一端，其中多个压电元件的每个的极化方向彼此不同。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种通过利用压电元件的压电效应而驱动为滑动粘附型(slip-sticktype)的压电致动器。
技术介绍
在扫描探针显微镜(SPM)、光学设备、半导体处理设备、高精度对准仪等中，物体可以在从几毫米至几厘米的范围内移动。因而，需要能够以一步的移动距离小于几微米(例如，从几十纳米至几皮米)的水平来精确地移动物体的定位器。因此，需要发展具有简单的结构以产生物体的精细位移的致动器。
技术实现思路
本专利技术提供了一种滑动粘附型的压电致动器，其可以通过小且简单的结构而以两个维度上的自由度来移动物体。额外的方面将在以下的描述中部分阐述，并将部分地从该描述而变得明显，或者可以通过实践给出的实施例而获知。根据本专利技术的一个方面，一种压电致动器包括:固定主体；可移动主体，布置为面对固定主体；以及多个压电元件，布置在固定主体与可移动主体之间并以剪切模式操作，每个压电元件具有固定到固定主体的一端以及接触可移动主体的另一端，其中多个压电元件的每个的极化方向彼此不同。多个压电元件的每个可以包括具有相反的极化方向的第一压电层和第二压电层。第一和第二压电层 可以彼此堆叠。压电致动器还可以包括弹性构件，该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电致动器，包括：固定主体；可移动主体，布置为面对所述固定主体；以及多个压电元件，布置在所述固定主体与所述可移动主体之间并以剪切模式操作，每个压电元件具有固定到所述固定主体的一端以及接触所述可移动主体的另一端，其中所述多个压电元件的每个的极化方向彼此不同。

【技术特征摘要】
2012.01.31 KR 10-2012-00097401.一种压电致动器，包括: 固定主体； 可移动主体，布置为面对所述固定主体；以及 多个压电元件，布置在所述固定主体与所述可移动主体之间并以剪切模式操作，每个压电元件具有固定到所述固定主体的一端以及接触所述可移动主体的另一端， 其中所述多个压电元件的每个的极化方向彼此不同。2.如权利要求1所述的压电致动器，其中所述多个压电元件的每个包括具有相反的极化方向的第一压电层和第二压电层。3.如权利要求2所述的压电致动器，其中所述第一和第二压电层彼此堆叠。4.如权利要求1所述的压电致动器，还包括弹性构件，该弹性构件具有接触所述固定主体的一端以及将所述可移动主体弹性挤压抵靠所述多个压电元件的另一端。5.如权利要求1所述的压电致动器，其中磁体布置在所述可移动主体和所述固定主体中的至少一个上，所述可移动主体通过所述磁体的磁力来挤压抵靠所述多个压电元件。6.如权利要求1所述的压电致动器，通过所述多个压电元件与所述可移动主体之间的滑动粘附操作而能够具有平移运动。7.如权利要求1所述的压电致动器，其中所述多个压电元件的数目为三个或更多，所述极化方向为径向方向或垂直于所述径向方向的方向。8.如权利要求1所述的压电致动器，其中所述可移动主体的接触所述多个压电元件的表面是弯曲表面，所述可移动主体通过所述多个压电元件而具有倾斜运动。9.如权利要求8所述的压电致动器，还包括用于在所述弯曲表面的切线方向上支撑所述多个压电元件的支撑部。10.如权利要求1所述的压电致动器，还包括用于检测所述可移动主体的位移的位移检测单元。11.如权利要求10所述的压电致动器，其中所述位移检测单元包括多个电极，该多个电极布置在所述可移动主体和所述固定主体的彼此面对的表面上并用于根据所述可移动主体的位置的变化来检测所述多个电极之间的电容的变化。12.—种压电致动器,包括: 固定主体； 可移动主体，布置为面对所述固定主体；以及 至少一个压电元件，布置在所述固定主体与所述可移动主体之间并以剪切模式操作，所述压电元件具有固定到所述固定主体的一端以及接触所述可移动主体的另一端， 其中所述至少一个压电元件的每个包括第一和第二压电单元，所述第一压电单元的极化方向和所述第二压电单元的极化方向彼此不同。13.如权利要求12所述的压电致动器，其中所述第一和第二压电单元中的至少一个包括具有相反的...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐焕受，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
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