【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种激光剥离装置,在基板上形成有材料层,对向上凸出或凹下变形的工件,一边使该工件与来自激光源的激光相对地移动,一边从该激光源照射透过所述基板的波长域的激光,将该材料层从该基板剥离,其特征在于,所述激光剥离装置具备载物台,该载物台具备支承所述工件的支承机构,该支承机构具备在从该载物台突出的三点,以变形后的状态原样支承该工件的工件支承体,上述激光源对所述变形的工件照射超过所述材料层的分解临界值的能级的激光。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:野村彻,松田僚三,筱山一城,鸣海惠司,
申请(专利权)人:优志旺电机株式会社,
类型:发明
国别省市:
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