一种激光剥离设备制造技术

本实用新型专利技术实施例提供了一种激光剥离设备，涉及柔性显示技术领域的制造设备，一方面，可避免由于载台的设计、材料等因素对柔性显示基板造成损伤，另一方面，可避免柔性显示基板脱落而影响其良率；该激光剥离设备包括：机架、设置于所述机架上方的激光器和设置于所述机架下方的载台、设置于所述载台上的支撑机构，所述支撑机构用于承载柔性显示基板母板；其中，所述支撑机构与所述载台采用可拆卸方式固定；所述柔性显示基板母板包括承载基板和设置于所述承载基板上的柔性显示基板；所述柔性显示基板与所述支撑机构接触。用于使承载基板和柔性显示基板剥离。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及柔性显示
的制造设备，尤其涉及一种激光剥离设备。
技术介绍
柔性显示技术在近几年有了飞速的发展，由此带动柔性显示器从屏幕的尺寸到显示的质量都取得了很大进步。无论是濒临消失的阴极射线管(Cathode Ray Tube，简称CRT)，还是现今主流的液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)，本质上都属于传统的刚性显示器。与传统的刚性显示器相比，柔性显示器具有诸多优点，例如耐冲击，抗震能力强，重量轻，体积小，携带更加方便等。目前，以柔性OLED显示器为例，其制备方法一般采用如下过程，即：在硬质基板上形成柔性衬底基板，在柔性衬底基板上制备OLED显示元件，之后再采用激光照射扫描方法将柔性衬底基板和硬质基板剥离，得到柔性OLED显示器。其中，采用激光照射扫描方法将柔性衬底基板和硬质基板剥离，需要将硬质基板和位于所述硬质基板上的柔性OLED显示器整体翻转，使硬质基板朝上，激光从上面扫描并照射到硬质基板，并聚焦在硬质本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光剥离设备，包括：机架、设置于所述机架上方的激光器和设置于所述机架下方的载台；其特征在于，所述激光剥离设备还包括：设置于所述载台上的支撑机构，所述支撑机构用于承载柔性显示基板母板；其中，所述支撑机构与所述载台采用可拆卸方式固定；所述柔性显示基板母板包括承载基板和设置于所述承载基板上的柔性显示基板；所述柔性显示基板与所述支撑机构接触。

【技术特征摘要】
1.一种激光剥离设备，包括：机架、设置于所述机架上方的激光
器和设置于所述机架下方的载台；其特征在于，所述激光剥离设备还
包括：设置于所述载台上的支撑机构，所述支撑机构用于承载柔性显
示基板母板；
其中，所述支撑机构与所述载台采用可拆卸方式固定；
所述柔性显示基板母板包括承载基板和设置于所述承载基板上的
柔性显示基板；所述柔性显示基板与所述支撑机构接触。
2.根据权利要求1所述的激光剥离设备，其特征在于，所述支撑
机构包括底面，所述底面包括多个第一真空孔，所述第一真空孔贯穿
所述底面；
所述载台包括与所述多个第一真空孔一一对应的多个第二真空
孔。
3.根据权利要求2所述的激光剥离设备，其特征在于，所述第一
真空孔的直径小于1mm。
4.根据权利要求2所述的激光剥离设备，其特征在于，所述支撑
机构还包括与所述底面连接的两个相对侧面。
5.根据权利要求4所述的激光剥离设备，其特征在于，所述支撑
机构还包括用于调节所述两个相对侧面与所述底面夹角的调节装置。
6.根据权利要求4所述的激光剥离设备，其特征在于，所述底...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢春燕，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11