【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种双轴驱动机构，其特征在于，具有：处理部；第一直线电动机，具备沿着第一直线导向件升降所述处理部的第一可动部和第一固定部；第二直线电动机，具备使所述处理部向与所述升降的方向垂直的水平方向移动的第二可动部和第二固定部；支撑体，固定所述第一固定部；第二直线导向件，设在所述支撑体和所述第二固定部之间，并使所述第二固定部自由地移动；线性传感器，检测所述第一可动部相对于所述支撑体的所述水平方向的位置；以及控制部，根据所述线性传感器的输出，控制所述第一可动部的所述水平方向的位置。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：石井良英，望月政幸，栗原芳弘，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术仪器，
类型：发明
国别省市：
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