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本发明提供包括Z轴的双轴驱动机构以及采用它的芯片接合机，其能够以简单的结构减少由Y（水平）轴造成的振动，或者能够实现升降轴的高速化。本发明具有：处理部；第一直线电动机，具备沿着第一直线导向件升降所述处理部的第一可动部和第一固定部；第二直线电...
该专利属于株式会社日立高新技术仪器所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术仪器授权不得商用。

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