【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种尾气处理装置，其特征在于，包括：加热腔室、储水罐、连接管、水处理腔室和进气管，所述进气管、水处理腔室和所述储水罐从上至下依次密封连接，所述水处理腔室的侧部通过所述连接管与所述加热腔室的底部密封连接，所述水处理腔室的直径大于所述进气管的直径，所述水处理腔室上开设至少一个向上或斜向上喷射的喷水口和至少一个向下或斜向下喷射的喷水口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马彪，张卫民，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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