【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅片清洗篮的同步夹持机械手,其特征在于:该机械手包括有同步爪(1)、转杆(2)、导向斜块(3)、导向轴(4)、固定块(9)、作用汽缸(6)和支撑外壳(8),所述同步爪(1)固定在转杆(2)的两端,所述转杆(2)设置在支撑外壳(8)上,所述固定块(9)一端与转杆(2)固定连接,另一端上设有爬升滚轮(5),该爬升滚轮(5)与导向斜块(3)滚动接触;所述导向轴(4)两端固定在支撑外壳(8)上,导向斜块(3)套设在导向轴(4)上;所述作用汽缸(6)固定在支撑外壳(8)上,该作用汽缸(6)的伸缩轴与导向斜块(3)连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:盛金龙,杜飞龙,王锐廷,王晨,边宝孝,
申请(专利权)人:北京七星华创电子股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。