一种多功能等离子体增强涂层系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种多功能等离子体增强涂层系统，包括真空室（1）和真空获得装置，其特征在于：在真空室（1）的中央设有旋转工件台（12），在真空室（1）的内腔壁设有二个相邻的阴极电弧靶（2，4），阴极电弧靶之一带阻挡屏（3），在此阴极电弧靶（2）的正对面设有辅助阳极装置（11），阴极电弧靶之二位于阴极电弧靶之一的相邻处，由旋转工件台（12）、二个阴极电弧靶和真空室（1）、辅助阳极装置（11）和真空室（1）构成旋转式电弧离子镀等离子体增强涂层系统。本实用新型专利技术具有涂层表面精密、孔隙率低、涂层性能稳定、结构简单和成本低廉的有益效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多功能等离子体增强涂层系统，包括真空室（1）和真空获得装置，其特征在于：在真空室（1）的中央设有旋转工件台（12），在真空室（1）的内腔壁设有二个相邻的阴极电弧靶（2，4），阴极电弧靶之一带阻挡屏（3），在此阴极电弧靶（2）的正对面设有辅助阳极装置（11），阴极电弧靶之二位于阴极电弧靶之一的相邻处，由旋转工件台（12）、二个阴极电弧靶和真空室（1）、辅助阳极装置（11）和真空室（1）构成旋转式电弧离子镀等离子体增强涂层系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董小虹，张中弦，梁航，黄拿灿，亚历山大·哥罗沃依，
申请(专利权)人：广东世创金属科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：