蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的蒸镀装置（50）是对被成膜基板（60）进行成膜的蒸镀装置，其具备：具有射出蒸镀颗粒的射出口（81）的蒸镀源（80）；向蒸镀源（80）供给蒸镀颗粒的蒸镀源坩埚（82）；通过使蒸镀源（80）旋转来使蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的旋转电动机（86）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：园田通，川户伸一，井上智，桥本智志，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：