一种离子氮化炉用堆放阴极输电装置制造方法及图纸

技术编号:9084996 阅读:134 留言:0更新日期:2013-08-28 21:20
本发明专利技术提供一种新型用于离子轰击炉的堆放阴极输电装置,其特征在于安装在离子轰击炉底部。在金属内屏蔽套和金属屏蔽套之间形成了一个规定的“气隙保护”层。所述堆放阴极输电装置是通过电源线,电源线插头,阴极杆和导电架),把电流传到工件。本发明专利技术技术的主要优点是:①由于炉体所需的管路设计在弧形炉底外部的侧面,因此,维修方便。②由于炉底设计成弧形,所以耐压能力高,在同样条件下,可节省材料50%。③由于赃物沉积在弧形炉底的最低部,所以不会进入抽气泵中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种新型用于离子轰击炉的堆放阴极输电装置,其特征在于安装在离子轰击炉底部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:田绍洁回博阳
申请(专利权)人:大连经济技术开发区圣洁真空技术开发有限公司
类型:发明
国别省市:

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