基板处理系统及显示元件的制造方法技术方案

本发明专利技术的基板处理系统，具备：多个基板收容装置，具有收容基板的收容室；多个基板处理装置，具有连接于每个基板收容装置的连接部，在基板收容装置连接于连接部的状态下对基板进行处理；引导装置，引导多个基板收容装置分别与每个基板处理装置连接；以及控制装置，控制引导装置以使多个基板收容装置分别与每个基板处理装置以既定顺序连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：浜田智秀，木内彻，增川孝志，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：