温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的基板处理系统，具备：多个基板收容装置，具有收容基板的收容室；多个基板处理装置，具有连接于每个基板收容装置的连接部，在基板收容装置连接于连接部的状态下对基板进行处理；引导装置，引导多个基板收容装置分别与每个基板处理装置连接；以及控制装...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。