基板的沟槽加工工具及沟槽加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术所提供的基板的沟槽加工工具及沟槽加工装置，即使在更换工具的情形，亦无需调整加工位置而可精度佳地进行沟槽加工。本发明专利技术的沟槽加工工具（2），是保持于保持具（17），且与保持具（17）一同在作为加工对象的基板上相对移动，而用以在基板形成沟槽的工具，具备有工具本体（36）与刃尖部（37）。工具本体（36），具有抵接于保持具（17）的抵接面（36a），且保持于保持具（17）。刃尖部（37），形成于工具本体（36）的前端部，且具有从抵接面（36a）连续而形成为与抵接面（36a）同一面的基准面（37a），并且从基准面（37a）起具有既定的宽度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种沟槽加工工具，尤其是关于一种保持于保持具，且与保持具一同在作为加工对象的基板上相对移动而用以在基板形成沟槽的基板的沟槽加工工具。此夕卜，本专利技术是关于一种具备以上的沟槽加工工具的沟槽加工装置。
技术介绍
薄膜太阳电池例如借由如下所示的方法制造。亦即，首先在玻璃等的基板上形成由Mo膜所构成的下部电极膜，之后，在下部电极膜形成沟槽，借此分割成短矩形状。接着，在下部电极膜上形成包含CIGS (Copper Indium Gallium Selenide,铜铟镓硒)膜等的黄铜矿构造化合物半导体膜的化合物半导体膜。而且，上述半导体膜的一部分借由沟槽加工被呈带(strip)状地去除而分割成短矩形状，且以覆盖上述的方式形成上部电极膜。最后，上部电极膜的一部分借由沟槽加工而被呈带状地剥离而分割成短矩形状。在如以上的方法中使用的沟槽加工工具，揭示于专利文献I中。在该专利文献I所揭示的沟槽加工工具，具有保持于保持具工具本体、以及形成于工具本体的前端部且具有沟槽加工用的刀刃的刃尖部。专利文献1:日本专利特开2011-142235号公报如自专利文献I的图3等得知，在现有习知的沟槽加工装置所使用的工具，仅在与工具的移动方向正交的宽度方向的中央部形成有刀刃。亦即，在工具的往保持具的安装面与刀刃之间存在间隔。该间隔根据工具本身的加工误差而变化。在此种状况下，在因工具的磨损等而更换工具的情形时，存在如下情形:因上述的加工误差而导致从保持具的 工具安装面至工具的刀刃的距离变化。一旦该距离变化，则无法精度佳地加工沟槽。因 此，每当在更换工具时，均需要调整加工位置。专利
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有的沟槽加工装置存在的问题，而提供一种新型结构的基板的沟槽加工工具及沟槽加工装置，所要解决的技术问题包括，即使是更换工具的情形时，亦无需调整加工位置，而可精度佳地进行沟槽加工。第I专利技术的基板的沟槽加工工具，是保持于保持具，与保持具一同在作为加工对象的基板上相对地移动而用以在基板形成沟槽的工具，具备有工具本体与刃尖部。工具本体具有抵接于保持具的抵接面，且保持于保持具。刃尖部，形成于工具本体的前端部，且具有从抵接面连续而形成为与抵接面同一面的基准面，并且从基准面起具有既定的宽度。在此处，刃尖部具有与工具本体的安装于保持具的抵接面为同一面的基准面，且从该基准面起以既定的宽度形成。因此，不存在如下情形:工具本体的抵接面与刀刃之间的距离因加工误差而于每个工具有所不同。因此，在更换工具时，无需加工位置的调整即可精度佳地加工沟槽。第2专利技术的基板的沟槽加工工具，在第I专利技术的沟槽加工工具，在刃尖部的前端形成有刀刃，且自移动方向观察时，包含刀刃的刃尖部的前端部为方形。在此处，由于包含刀刃的刃尖部为方形，因此即使工具的刀刃磨损，加工的沟槽宽度亦为固定。第3专利技术的基板的沟槽加工工具，在第2专利技术的沟槽加工工具，在形成有刃尖部的刀刃的侧部，形成有随着远离刀刃而往移动方向上游侧倾斜的斜面。在此处，由于在形成有刀刃的工具的侧部形成有斜面，因此所去除的基板的一部分的排出性变得良好。因此，可抑制沟槽周边的膜等剥离的情形。第4专利技术的基板的沟槽加工工具，在第I或第2专利技术的沟槽加工工具，保持具往返移动。此外，刃尖部具有形成于移动方向的往动侧的前端的第I刀刃、以及形成于返动侧的前端的第2刀刃。而且，在形成有第I刀刃的刃尖部的第I侧部与形成有第2刀刃的刃尖部的第2侧部，形成有随着远离各刀刃而往移动方向上游侧倾斜的斜面。在此处，借由使保持具往返移动而可实现如下情形:在往动时以工具的第I刀刃进行沟槽加工，而在返动时以工具的第2刀刃进行沟槽加工。此外，与第3专利技术相同地，在形成有各刀刃的工具的两侧部，形成有斜面，因此所去除的基板的一部分的排出性变得良好。因此，可抑制沟槽周边的膜等剥离的情形。第5专利技术的基板的沟槽加工装置，沿基板的图案线形成沟槽的装置，具备有载置基板的平台、安装第I至第4专利技术中的任一沟槽加工工具的头部、以及用以使平台与头部在水平面内相对移动的移动机构。而且，头部具有可上下移动的保持具、以及使保持于保持具的沟槽加工工具以既定 的按压力对基板进行按压的按压构件。在该装置，沟槽加工工具借由按压构件而以既定的按压力按压基板并往返移动。而且，在往动时与返动时，在基板上形成沟槽。第6专利技术的基板的沟槽加工装置，在第5专利技术的装置中，保持具是保持沟槽加工工具，且具有以与移动方向正交的摆动轴为支点而摆动、取得往动位置与返动位置的摆动构件。如以上的本专利技术，至少具有下列优点以及有益效果:即使在更换工具的情形，亦无需调整加工位置而可精度佳地进行沟槽加工。综上所述，本专利技术在技术上有显著的进步，并具有明显的积极技术效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合说明书附图，详细说明如下。附图说明图1，是安装有本专利技术的一实施形态的沟槽加工工具的沟槽加工装置的外观立体图。图2，是沟槽加工装置的头部的主视图。图3 (a)和图3 (b)，是表示沟槽加工工具的侧面、正面的图式。图4 (a)、图4 (b)和图4 (C)，是用以说明沟槽加工时的动作的示意图。主要元件符号说明I 平台2 工具3 头部6 移动支持机构17 保持具18 摆动构件19 气缸22 保持具本体36 工具本体37 刃尖部38a、38b 刀刃40a、40b 斜面具体实施例方式为进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段以及其功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的基板的沟槽加工工具及沟槽加工装置的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。图1表示安装有本专利技术的一实施形态的沟槽加工工具的沟槽加工装置的外观立体图。该装置具备有载置基板W的平台1、安装有沟槽加工工具(以下，简记工具)2的头部3、以及各为两台的摄像机4及显示器5。平台I可在水平面内在图1的Y方向移动。此外，平台I可在水平面内旋转任意的角度。另外，在图1表示有头部3的概略的外观，而头部3的细节将在下文叙述。 头部3可借由移动支持机构6而在平台I的上方在X、Y方向移动。另外，如图1所示，X方向是在水平面内正交于Y方向的方向。移动支持机构6具有I对支持柱7a、7b、横跨I对支持柱7a、7b间而设置的导杆8、以及驱动形成于导杆8的导件9的马达10。头部3可沿导件9而如上所述般于X方向移动。两台摄像机4分别固定于基座12。各基座12可沿设置于支持台13的往X方向延伸的导件14而移动。两台摄像机4可上下动作，且以各摄像机4拍摄的图像显示于对应的显不器5。在图2中，抽出头部3而表示。头部3具有板状的底座16、保持具17以及气缸19。保持具17经由未图示的轨条而相对于底座16在上下方向滑动自如地被支持。保持具17具有保持具本体22、固定于保持具本体22的表面的支持构件23、以及摆动构件18。保持具本体22形成为板状，且在上部具有开口 22a。支持构件23是在横向方向为较长的矩形状的构件，且形成有摆动构件18插通于内部的贯通孔23a。摆动构件18是摆动自如地被支持于保持具本体22及支持构件2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的沟槽加工工具，保持于保持具，与上述保持具一同在作为加工对象的基板上相对移动，而用以在基板形成沟槽，其特征在于具备：工具本体，具有抵接于上述保持具的抵接面，且保持于上述保持具；以及刃尖部，形成于上述工具本体的前端部，且具有从上述抵接面连续而形成为与上述抵接面同一面的基准面，并且从上述基准面起具有既定的宽度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：曾山正信，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：