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本发明所提供的基板的沟槽加工工具及沟槽加工装置，即使在更换工具的情形，亦无需调整加工位置而可精度佳地进行沟槽加工。本发明的沟槽加工工具（2），是保持于保持具（17），且与保持具（17）一同在作为加工对象的基板上相对移动，而用以在基板形成沟槽...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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