薄膜制备装置制造方法及图纸

一种薄膜制备装置，包括有一基座、一偏摆驱动机构、以及一承载盘。该基座具有一可旋转的支撑轴；该偏摆驱动机构具有一可随该支撑轴旋转的固定座、一可受该固定座带动而进行圆周运动的轨道、以及一可沿该轨道而轴向往返位移的支撑体；该承载盘系枢设于该支撑轴且其底面抵靠于该支撑体，如此，该承载盘可随该轨道的圆周运动以及该支撑体的轴向运动而相对一水平面倾斜偏摆。借此，透过该承载盘的倾斜偏摆，可使置放于其上的基板顶面的待成膜化学溶液均匀分布于该基板顶面，从而于该基板顶面形成均匀度佳的薄膜。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术有关于一种薄膜制备装置，特别是指一种运用化学水浴法原理的薄膜制备装置。
技术介绍
太阳能薄膜电池，特别是诸如铜铟镓硒(CIGS)或铜铟硫(CIS)之1-1I1-VI族的太阳能电池，具备有高效率、低成本以及低毒性等优点，因此受到广泛关注。在制备太阳能薄膜电池的制程中，通常需要在吸收层上形成一层诸如硫化镉(CdS)或硫化锌(ZnS)的缓冲层，以降低结构中氧化锌(ZnO)层与吸收层之间的能带不连续(band discontinuity)。现有的制备前述缓冲层的方法，主要是利用化学水浴法(chemical bath deposition),然而，现有的化学水浴法必须将待镀膜的基板完全浸入装有化学溶液的反应槽中，以致必须耗费大量的化学溶液，且会产生大量废液而不环保；另外，由于此种镀膜法会使基板两面都形成薄膜，因此还需要额外的清洗制程来除去基板背面的薄膜；更且，利用此种镀膜法形成于基板上的薄膜，其均匀性仍有待提升。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种能够解决上述缺失的薄膜制备装置。为达成上述目的，本技术所提供的一种薄膜制备装置，主要用以于一基板表面形成薄膜，该薄膜制备装置包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜制备装置，其特征在于，是用以于一基板表面形成薄膜，该薄膜制备装置包含有：一基座，具有一座体、一设置于该座体内的马达、以及一设置于该座体且可受该马达驱动而相对该座体旋转的支撑轴；一偏摆驱动机构，具有一设置于该支撑轴而可随该支撑轴旋转的固定座、一设置于该固定座且可受该固定座带动而进行圆周运动的轨道、以及一设置于该轨道且可沿该轨道而相对该固定座轴向往返位移的支撑体，该支撑体具有一弧状周面；以及一承载盘，用以承载该基板，该承载盘枢设于该支撑轴，且该承载盘的底面抵靠该支撑体的弧状周面；借此,该承载盘,可以随着偏摆驱动机构的轨道进行的圆周运动,以及支撑体的轴向运动,而使得该承载盘相对于一水平面在不...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾昭隆，何文福，陈官璧，邱文鼎，赵子铭，孟良，黄世壬，奚明，
申请(专利权)人：生阳新材料科技宁波有限公司，
类型：实用新型
国别省市：