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一种薄膜制备装置，包括有一基座、一偏摆驱动机构、以及一承载盘。该基座具有一可旋转的支撑轴；该偏摆驱动机构具有一可随该支撑轴旋转的固定座、一可受该固定座带动而进行圆周运动的轨道、以及一可沿该轨道而轴向往返位移的支撑体；该承载盘系枢设于该支撑轴...
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