超调控制加热方法技术

一种超调控制加热方法，包含有下列步骤：a)提供密闭的加热腔体、加热器以及控制加热器温度的温度控制器，加热器及受热物设置于加热腔体内，且加热器及受热物温度回馈传输至温度控制器；b)设定目标温度、误差容许值以及与目标温度相差在误差容许值内的有效温度范围；c)将加热器温度调升至高于有效温度范围上限的第一设定温度；以及d)在受热物温度进入有效温度范围后，将加热器温度调降至第二设定温度，且加热器温度持续高于受热物温度；藉此，该方法的加热效率高、较为节能，并可达到快速加热的制程条件，且能有效定义出受热物持温的时间。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种，包含有下列步骤：a)提供密闭的加热腔体、加热器以及控制加热器温度的温度控制器，加热器及受热物设置于加热腔体内，且加热器及受热物温度回馈传输至温度控制器；b)设定目标温度、误差容许值以及与目标温度相差在误差容许值内的有效温度范围；c)将加热器温度调升至高于有效温度范围上限的第一设定温度；以及d)在受热物温度进入有效温度范围后，将加热器温度调降至第二设定温度，且加热器温度持续高于受热物温度；藉此，该方法的加热效率高、较为节能，并可达到快速加热的制程条件，且能有效定义出受热物持温的时间。【专利说明】
本专利技术是与加热方法有关，特别是关于一种。
技术介绍
在半导体制程中，时常包含有加热的步骤，例如CIGS (Copper Indium GalliumSelenide)太阳能电池中的铜铟镓硒玻璃板，其玻璃基板溅镀铜、铟、镓等金属后，需再进行加热硒化的步骤，以合成出CIGS半导体。现有的加热方法，是提供一内部设有加热器(例如红外线加热器)的密闭加热腔体，并将受热物设置于该加热腔体内，如图1所示，将该加热器温度T1提高至一目标温度，使得该受热物温度T2因加热器的热辐射作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超调控制加热方法，其特征在于，包含有下列步骤：a)提供一密闭的加热腔体、一加热器以及一控制该加热器温度的温度控制器，该加热器及一受热物设置于该加热腔体内，且该加热器温度及该受热物温度回馈传输至该温度控制器；b)设定一目标温度、一误差容许值以及与该目标温度相差在该误差容许值内的一有效温度范围；c)将该加热器温度在一段时间内随时间增加而调升至一第一设定温度，且该第一设定温度高于该有效温度范围的上限；以及d)在该受热物温度进入该有效温度范围后，将该加热器温度调降至一第二设定温度，且该加热器温度持续高于该受热物温度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄世壬，赖文波，廖科峰，陈君健，赵子铭，任常宝，孟良，曾昭隆，
申请(专利权)人：生阳新材料科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33