传感器及其制造方法技术

一种传感器，尤其是压力传感器，具有：结构，其包括支撑体（10）；电路装置（4），包括电路部件（3a、3b、3c、3d），在其中检测装置（3c）用于生成表示要被检测的量的电信号；以及至少一个电路支撑件（4a），其被连接到所述支撑体（10）并且具有表面，在所述表面上形成多个所述电路部件（3a、3b、3c、3d），在其中导电路径（3a、3b），其中所述电路支撑件（4a）被层压在所述支撑体（10）的所述第一面（10a）上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般而言涉及下述类型的传感器，具有: -结构，其包括支撑体； -电路装置，其包括电路部件，在其中包括用于生成表示要被检测的量的电信号的检测装置；以及 -至少一个电路支撑件，其被固定到所述支撑体上并且具有表面，多个前述的电路部件(在其中包括导电路径)被形成在所述表面上。已经特别关于压力传感器开发了本专利技术(其在任何情况下可以被应用于各种类型的传感器)，在其中薄膜经受弹性变形，随正被测量的流体的压力而变化，并且所述电路部件包括用于生成表示前述薄膜的变形的电信号的检测装置。
技术介绍
所涉及的类型的传感器被使用在用于在各种领域中检测流体(液体和气体)的压力的设备中。这些检测设备典型地包括限定具有用于流体(该流体的压力要被测量)的入口的腔室的壳体，以及被容纳在所述腔室中的压力传感器。在第一类型的解决方案中，所述传感器具有主体，其具有限定要被暴露于所述流体的薄膜的结构功能。在所述薄膜(其至少部分地由电绝缘材料(例如，陶瓷材料或至少部分地被绝缘层覆盖的金属材料)制成)上，所述检测装置(被配置用于检测所述薄膜自身的弯曲或弹性变形)被至少部分地设置或延伸。所述检测装置典型地由电阻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M莫尼基诺，
申请(专利权)人：微型金属薄膜电阻器有限公司，
类型：
国别省市：