【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种传感器装置的制造方法，所述传感器在基板上的第一区域具有热电传感器，同时在所述基板上的与所述第一区域不同的第二区域具有焊盘，所述传感器装置的制造方法的特征在于，包括：在所述第一区域形成第一导电部的步骤；在所述第一导电部上形成热电体的步骤；在所述热电体上形成第二导电部的步骤；在所述第二导电部上及所述第二区域分别形成第一绝缘膜的步骤；通过除去所述第一绝缘膜的一部分而在所述第一区域形成将所述第二导电部作为底面的第一开口部、在所述第二区域形成第二开口部的步骤；在所述第一开口部及所述第二开口部中分别埋入第三导电部的步骤；形成在所述第一区域中覆盖所述热电体、在所述第二区域中覆盖所述第三导电部的第二绝缘膜的步骤；以及通过除去所述第二绝缘膜的一部分而形成将所述第三导电部作为底面的第三开口部的步骤。
【技术特征摘要】
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