温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种传感器装置的制造方法以及传感器装置，该传感器装置的制造方法包括：在基板的第一区域形成第一导电部的步骤；在第一导电部上形成热电体的步骤；在热电体上形成第二导电部的步骤；在第二导电部上及第二区域分别形成第一绝缘膜的步骤；通过除去第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。