The utility model relates to a drawing for FZ adjusting the thermal field of single crystal reflector, which includes reflector cylinder body, the cylinder body comprises an outer barrel body I (14) and II (10) in the cylinder, the inner cylinder body II (10) is positioned above the reflector of the cylinder, the inner cylinder on the top periphery of the connection piece is provided with a fixing bracket (11) fixed sleeve, the outer cylinder body of the external II I (14) of the periphery of the bottom is provided with a connecting piece and a movable bracket (6) connected with the movable bracket (6), and the other end of the screw with the actuator driven by a motor. The advantages of large diameter single crystal reflector in the drawing process, the reflector cylinder position and shape stretching, for crystal growth to provide a controllable thermal field, does not affect the normal shoulder and investment holding, easy operation.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及区熔单晶炉拉制大直(6-8寸)径单晶时,单晶反射器的动态调节。其目的是:在大直径单晶拉制过程中,通过反射器的位置移动和形状拉伸,为单晶生长提供一个可调控的热场。为大直径单晶实验、拉制提供便利条件。
技术介绍
近年来Fz单晶(区熔单晶)的拉制直径不断增加,直径五、六英寸单晶已渐成为主流,直径七、八英寸单晶工艺在国外已渐成熟,在国内已在研发实验中。随着单晶拉制直径的增加,我们发现反射器的位置设置和形态对单晶的拉制影响越来越明显。目前国内用于拉制大直径区熔单晶的设备以Fz-30炉为主,此设备功率设计上具有拉制七寸单晶的能力,但其在单晶热场配套上存在一些问题。其中反射器筒高偏小(只有50_),就是其中之一。反射器的作用主要是晶体保温,降低晶体内部的热应力,反射器高度过小,冷却水带走的热量区域集中,使得温度梯度过大,此时单晶易过冷而勒包甚至开裂。一般7-8英寸单晶放肩长度在350mm左右,相对于50mm高的反射器保温筒高,保温效果显的相对不足。为弥补保温不足问题保温桶必须有所调整而在Fz-30炉现有条件直接加高反射器筒高存在问题:1.夹持器机构较复杂且直径在220mm以上,不易包裹在反射器筒内部。即便将夹持机构至于反射器筒内,由于反射器筒壁会阻碍视线,夹持器投放动作很难操作。2.夹持器至于反射器之外,直接增加反射器筒高会使夹持投放时间被延长,对夹持器的稳定性和一致性要求高,单晶倒伏流熔区可能性加大,且大直径单晶流熔区破坏力大,应尽可能避 免。3.固定保温筒高模式反射器,当需要改变尺寸试需要重新制作,而这会使工艺试验周期延长。4.当工艺条件需要变化时, ...
【技术保护点】
一种用于拉制区熔硅单晶时调节单晶热场的反射器,其特征在于:它包括:反射器筒体,该筒体包括:外筒体I(14)及内筒体II(10),内筒体II(10)位于反射器筒体的上方,内筒体上顶部周边设有连接件与固定支架(11)固定,套在内筒体II外部的外筒体I(14)的底部周边设有连接件与活动支架(6)连接,活动支架(6)的另一端与由电机带动的传动器丝杠配合。
【技术特征摘要】
1.一种用于拉制区熔硅单晶时调节单晶热场的反射器,其特征在于:它包括:反射器筒体,该筒体包括:外筒体1(14)及内筒体II (10),内筒体II (10)位于反射器筒体的上方,内筒体上顶部周边设有连接件与固定支架(11)固定,套在内筒体II外部的外筒体1(14)的底部周边设有连接件与活动支架(6)连接,活动支架¢)的另一端与由电机带动的传动器丝杠配合。2.根据权利要求书I所述一种用于拉制区熔硅单晶时调节单晶热场的反射器,其特征在于:外筒体I (14)的材料为石墨或石英;内筒体II(IO)的材料为石墨或石英。3....
【专利技术属性】
技术研发人员:闫志瑞,陈海滨,梁书正,梁开金,黄龙辉,付斌,刘志伟,李明飞,
申请(专利权)人:有研半导体材料股份有限公司,国泰半导体材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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